半導體電子超純水電阻率溶解氧標準及監(jiān)測解決方案
2025.07.07 瀏覽量:563 次
在半導體和電子行業(yè)中,超純水的水質對生產(chǎn)過程和產(chǎn)品質量有著至關重要的影響。超純水的電阻率和溶解氧是衡量水質的關鍵指標,直接影響到半導體器件的制造和電子產(chǎn)品的性能。因此,嚴格遵守相關的水質標準并進行實時監(jiān)測是確保生產(chǎn)順利進行和產(chǎn)品質量的重要保障,下面就和贏潤集團工作人員一起來了解一下吧!
根據(jù)《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導體行業(yè)超純水標準指南》,電子和半導體行業(yè)超純水水質的電阻率和溶解氧標準可以分為以下七個類型:
| 類型 |
電阻率 (MΩ·cm @ 25℃) |
溶解氧 (μg/L) |
| E-1 |
18.1 |
25 |
| E-1.1 |
18.2 |
10 |
| E-1.2 |
18.2 |
3 |
| E-1.3 |
18.2 |
10 |
| E-2 |
16.5 |
- |
| E-3 |
12 |
- |
| E-4 |
0.5 |
- |
這些標準為半導體和電子行業(yè)提供了明確的水質要求,確保超純水在生產(chǎn)過程中能夠滿足高質量標準。
為了確保超純水的水質符合上述標準,贏潤集團研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-SZ1S-A-A4水質電阻率在線監(jiān)測分析儀和ERUN-SZ4-A-A5水質微量溶解氧在線分析儀,為超純水的實時監(jiān)測提供了高效、可靠的解決方案。
ERUN-SZ1S-A-A4水質電阻率在線監(jiān)測分析儀主要特點:
★
高精度測量:采用先進的傳感器技術,確保測量結果的準確性和可靠性。
★
實時監(jiān)測:能夠連續(xù)實時在線監(jiān)測超純水的電阻率,及時發(fā)現(xiàn)水質變化。
★
數(shù)據(jù)傳輸:支持 4-20 mA 模擬量信號和 RS485(ModBus-RTU)數(shù)字量信號遠程傳輸監(jiān)控,方便用戶進行遠程監(jiān)控和數(shù)據(jù)管理。
★
防護等級高:設備具有 IP65 防護等級,能夠有效防止灰塵和水濺,適應各種復雜的工作環(huán)境。
★
低功耗設計:采用低功耗設計,確保設備長時間穩(wěn)定運行,減少維護成本。
ERUN-SZ4-A-A5水質微量溶解氧在線分析儀主要特點:
★
高靈敏度檢測:采用先進的光學傳感器技術,能夠高靈敏度地檢測微量溶解氧。
★
實時監(jiān)測:能夠連續(xù)實時在線監(jiān)測超純水中的溶解氧濃度,確保水質符合標準。
★
數(shù)據(jù)傳輸:支持 4-20 mA 模擬量信號和 RS485(ModBus-RTU)數(shù)字量信號遠程傳輸監(jiān)控,方便用戶進行遠程監(jiān)控和數(shù)據(jù)管理。
★
防護等級高:設備具有 IP65 防護等級,能夠有效防止灰塵和水濺,適應各種復雜的工作環(huán)境。
★
低功耗設計:采用低功耗設計,確保設備長時間穩(wěn)定運行,減少維護成本。
贏潤集團的水質監(jiān)測設備廣泛應用于以下領域:
▲
半導體制造:在半導體制造過程中,實時監(jiān)測超純水的電阻率和溶解氧,確保水質符合生產(chǎn)標準。
▲
電子行業(yè):在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,監(jiān)測超純水的水質,確保產(chǎn)品質量。
▲
實驗室研究:為研究人員提供準確的水質監(jiān)測數(shù)據(jù),支持相關研究和開發(fā)工作。
▲
工業(yè)生產(chǎn):在其他需要高純水的工業(yè)生產(chǎn)中,監(jiān)測水質,確保生產(chǎn)過程的順利進行。
在半導體和電子行業(yè)中,超純水的電阻率和溶解氧是關鍵的水質指標。通過嚴格遵守相關的水質標準并使用先進的監(jiān)測設備,如贏潤集團的 ERUN-SZ1S-A-A4 水質電阻率在線監(jiān)測分析儀和 ERUN-SZ4-A-A5 水質微量溶解氧在線分析儀,可以有效確保超純水的水質符合生產(chǎn)要求,保障生產(chǎn)過程的順利進行和產(chǎn)品質量。選擇合適的監(jiān)測設備,讓水質管理變得更加智能、高效。
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